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微电子的过去、现在和未来
被引量：
3
The Evolution of Micro-Electron
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摘要
从微电子技术产生的背景、过程、取得的巨大成果及目前发展的不利因素介绍了微电子技术的历史和现状;从前沿技术方面介绍了微电子技术的发展方向;介绍了中国在微电子技术上已取得的成果和尚存在的许多问题,并阐明了中国必须大力发展微电子技术。
作者
严兆辉
机构地区
华中科技大学电子系
出处
《科技进步与对策》
CSSCI
北大核心
2003年第7期176-178,共3页
Science & Technology Progress and Policy
关键词
微电子技术
发展方向
制造工艺
光刻技术
中国
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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