二次离子质谱分析被引量：9

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摘要一、引言二次离子质谱(SecondaryIon Mass Spectrometry)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段.通过一次离子溅射,SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次离子像.

作者王铮曹永明李越生方培源

机构地区复旦大学材料科学系国家微分析中心

出处《上海计量测试》 2003年第3期42-46,共5页 Shanghai Measurement and Testing

关键词固体材料表面组分杂质二次离子质谱分析 SIMS 工作原理深度剖析二次离子像

分类号 TH843 [机械工程—精密仪器及机械]

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