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高准确度光栅标尺

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摘要本文介绍了按激光波长的倍数刻制的高准确度光栅标尺,它用计算电路及综合修正技术校正了累积误差和温度误差,分辨率达到0.1μm。

作者裘惠孚张学能

机构地区北京机械工业学院上海二光厂

出处《计量技术》 1992年第12期1-2,共2页 Measurement Technique

关键词光栅标尺准确度

分类号 TH741.6 [机械工程—光学工程]

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计量技术

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