摘要
为了满足精密机械加工测量的需要,顺应国际环规标准,北京计量仪器厂和中国计量科学研究院联合研制了C34激光孔径测量仪,其主要技术参数如下: 测量范围:5mm～200mm 不确定度:0.2μm+1×10^(-5)L 现对该产品的工作原理、主要技术性能等做一个介绍。一、原理用稳频氦氖激光作为长度基准,应用法布里腔建立标准内尺寸,使用消阿贝误差的迈克尔逊干涉仪,通过标准内尺寸与被测环规的比较测量,获得高准确度的测量结果,其光学系统如图1。
出处
《计量技术》
1992年第11期4-6,共3页
Measurement Technique
