掺杂半导体硅材料电阻率测量的光电效应和热效应

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摘要本文通过大量的实验证实掺杂半导体硅材料的光电效应和热效应对电阻率的影响,并指出为提高电阻率的测量准确度应采取一些必要的措施。

作者鲁效明

机构地区中国计量科学研究院

出处《计量技术》 1992年第8期16-17,共2页 Measurement Technique

关键词半导体硅电阻率测量掺杂

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计量技术

1992年第8期

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