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电子工业用涂层材料

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摘要 在电子工业中,半导体器件、多层印刷线路板和某些电子零部件的生产都需要使用层间绝缘和表面保护膜等涂层材料,其具体用途及膜厚见表1。具有多层布线结构的新一代超LSI的生产更需要这类材料,层间绝缘和表面保护膜在半导体芯片中的位置和作用见图1、2。
作者 徐京生
出处 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1992年第5期18-22,共5页 New Chemical Materials
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