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高能量密度脉冲等离子体制备的氮化钛刀具涂层的微观结构与力学性能 被引量：6

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摘要 室温下用高能量密度脉冲等离子体在硬质合金刀具上成功淀积了硬度高、耐磨损、膜基结合良好的氮化钛涂层.俄歇分析表明,薄膜与基体间界面大于250nm;涂层与基体的结合良好,纳米划痕实验临界载荷达90mN以上.纳米压痕实验表明,氮化钛涂层具有很高的硬度和杨氏模量,分别达27GPa和450 GPa以上.涂层刀具切削实验表明,刀具可用于HRC高达58～62的CrWMn钢切削,且磨损量较低,寿命长.微观结构分析表明,高能量密度等离子的注入效应、晶粒细化效应等对薄膜硬度、杨氏模量、膜基结合力和抗磨损性能等物理性能的改善起主导作用.
作者 彭志坚 苗赫濯 齐龙浩 龚江宏 杨思泽 刘赤子
机构地区 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 中国科学院物理研究所
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期900-904,共5页 Chinese Science Bulletin
关键词 硬质合金刀具 氮化钛涂层 高能量密度脉冲等离子体 微观结构 力学性能 硬度 杨氏模量
分类号 TG711 [金属学及工艺—刀具与模具]
  • 相关文献

参考文献8

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共引文献9

同被引文献85

引证文献6

二级引证文献10

科学通报
2003年 第9期

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