一种新的简易调相干涉术被引量：1

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摘要本文提出一种简易调相干涉术,所需设备和计算过程十分简单。我们在实验中,测试了玻璃基底上单层硫化锌薄膜厚度。通过测出基底最大光强、最小光强和测试光强(亦称过渡光强) 以及相应膜层厚度等参数,由简单的计算公式即可算出由膜层引起的位相差。这种干涉术还适用于膜层表面轮廓的测量,此时仅需用适当的方式扫描薄膜样品即可。

作者朱若谷

机构地区中国计量学院

出处《计量技术》 1989年第6期1-2,共2页 Measurement Technique

关键词干涉术误差调相

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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计量技术

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