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锑化铟凝视红外成象器件技术发展现状
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摘要
本文描述在3~5μm光谱范围内工作的凝视红外成象系统用的单片128×128元锑化铟阵列。制作阵列只需4次光刻,与先前的设计相比,其响应率提高5倍,在同样大小晶片的产量可增加14个。这种较高的灵敏度表明能大大改进热成象。
作者
程开富
出处
《红外与激光技术》
CSCD
1992年第3期45-48,共4页
关键词
探测器
红外图象
锑化铟
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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红外与激光技术
1992年 第3期
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