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锑化铟凝视红外成象器件技术发展现状

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摘要 本文描述在3~5μm光谱范围内工作的凝视红外成象系统用的单片128×128元锑化铟阵列。制作阵列只需4次光刻,与先前的设计相比,其响应率提高5倍,在同样大小晶片的产量可增加14个。这种较高的灵敏度表明能大大改进热成象。
作者 程开富
出处 《红外与激光技术》 CSCD 1992年第3期45-48,共4页
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