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超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展

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摘要 0引言金刚石是自然界中硬度最高的材料.1985年,美国Berkeley大学Marvin L. Cohen教授根据一个对物质的弹性模量具有普遍意义的半经验公式,推断碳氮化合物硬度可能超过金刚石,这种共价化合物的晶体结构类似于氮硅共价化合物β-Si3N4,被称为β-C3N4[1].

作者刘长虹童燕青程国安刘洪刚

机构地区北京师范大学材料科学与工程系华南理工大学北京师范大学材料科学与工程系中国科学院微电子研究所

出处《国外金属加工》 2003年第2期12-17,42,共7页

关键词超硬材料氮化碳薄膜研究进展弹性模量金刚石

分类号 TQ163 [化学工程—高温制品工业]

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国外金属加工

2003年第2期

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