过滤阴极真空电弧(FCVA)镀膜新技术
出处
《模具制造》
2002年第10期57-57,共1页
Die & Mould Manufacture
-
1谷祥帅,周友龙,夏侯良,黄楠,孙鸿.FCVA沉积TiAlN薄膜的工艺研究[J].工具技术,2007,41(7):48-51. 被引量:1
-
2韩潇,朱嘉琦,周峰,陈晓丽.多层四面体非晶碳膜的热稳定性[J].红外与激光工程,2012,41(1):144-148.
-
3潘丽坤,李海波,孙卓,孙长庆.表面金属化对多孔硅光特性的影响(英文)[J].功能材料与器件学报,2009,15(3):280-284. 被引量:1
-
4李作文,黄鑫,廖斌,曹望,周福增,伏开虎,周晗,张旭.气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响[J].北京师范大学学报(自然科学版),2014,50(6):609-613.
-
5裴亚楠,谢东,郐晛,孙鸿,冷永祥,黄楠.超高分子量聚乙烯表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理研究[J].功能材料,2011,42(3):459-462. 被引量:7
-
6刘爱萍,朱嘉琦,韩杰才.纳米金增强掺磷四面体非晶碳膜的电化学活性[J].新型炭材料,2010,25(5):363-369. 被引量:3
-
7朱嘉琦,孟松鹤,韩杰才,檀满林.衬底偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响[J].材料研究学报,2004,18(1):76-81. 被引量:5
-
8朱嘉琦,雷沛,韩杰才,王赛.四面体非晶碳作为薄膜声表面波器件增频衬底的研究[J].功能材料信息,2011,8(5):17-22.
-
9张化宇,刘良学,马洪涛,刘凡新,刘会良,王东.不同工艺制备的ta-C和ta-C:N薄膜表面粗糙度研究(英文)[J].材料科学与工程学报,2006,24(5):673-675. 被引量:4
-
10黎永钧,苏秉雄,李冬生.无氢非晶金刚石膜耐磨性研究[J].纳米科技,2004,1(4). 被引量:1
;