光学傅里叶分析的测厚应用

THE APPLICATION OF OPTICS FOURIER ANALYSIS IN THICKNESS MEASURING

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摘要　通过对频率域的傅里叶分析,导出衍射场变换域的经验公式,应用激光检测精细物体的线度。 From Fourier analysis to frequency domain, the empirical formulas of the transform domain related to the diffractive field is derived with the modern optics theory.With the formulas the line breadth of tiny objects is measured by an applied laser.

作者张绪宽张祖全柯璇

机构地区江汉大学物理与信息工程学院

出处《应用光学》 CAS CSCD 2003年第2期43-45,共3页 Journal of Applied Optics

关键词傅里叶变换衍射场空间频谱氦氖激光器变换域厚度测量线度检测 Fourier transform diffractive field spatial frequency spectrum He-Ne laser

分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器] O438.2 [机械工程—光学工程]

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应用光学

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