超精细检测技术评述

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摘要本文评述了各种超精细检测技术,对80年代以后出现的各类新技术进行系统的简述和评价,说明不同的物理量加上精密的空间扫描技术在原子尺度的检测中获得的成功,最后指出今后十年内光学检测技术的发展趋势。

作者王桂英张鸿王之江

机构地区中国科学院上海光机所

出处《国外激光》 CSCD 1992年第3期1-3,共3页

关键词超精细检测光检测干涉仪显微镜

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国外激光

1992年第3期

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