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精密大平面测量的研究
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摘要
本文探讨了精密大平面测量中的主要环节:理想平面的建立,非接触测头的开发,数据处理的研究和微机控制的应用,并提出了有效的原理和方法。
作者
蔡敦和
出处
《机械工程》
CSCD
北大核心
1989年第5期11-13,共3页
关键词
平面
测量
平面度
临界角法
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
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1
梁嵘,李达成,曹芒,赵洪志,武勇军.
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪[J]
.光学学报,1999,19(7):958-961.
被引量:14
机械工程
1989年 第5期
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