离子镀的特点及其应用

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摘要引言以钛为主的过渡金属,其碳化物、氮化物薄膜作为硬质膜有着良好的耐摩性和耐蚀性,已经开始用于工具、模具、机械零件、装饰品等许多领域。为了得到这些硬质膜,出现了PVD(物理气相沉积)和CVD(化学气相沉积)工艺方法。PVD包括:热蒸发、溅射、离子镀和分子束外延等方法。它们的特点是用热能使固体原料蒸发。

作者张丽梅

出处《电子工业专用设备》 1992年第3期44-48,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词镀膜离子镀应用化学气相沉积

分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]

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