摘要
针对悬浮系统中电容式悬浮间隙传感器的微小电容检测难题,设计了一种高精度检测电路,解决间隙变化引起的皮法级(pF)电容信号准确测量问题。基于间隙变化的电容耦合原理,构建包含高频激励、电容检测、仪表放大、低通滤波及信号采集的检测架构。采用正弦交流激励调制电容信号,通过电容检测电路将电容直接转换为有效直流电压,结合放大电路与低通滤波提升信噪比;通过硬件实现与算法优化结合,实现实时电容检测。实验结果表明,电路可实现悬浮间隙在3 mm时的静态波动仅为0.011 mm,在3~20 mm的悬浮间隙全量程内测量精度可达到0.2 mm。通过悬浮控制平台可实现闭环反馈控制,达到稳定悬浮状态。
出处
《科技与创新》
2025年第24期95-97,共3页
Science and Technology & Innovation
