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400kg级蓝宝石晶体生长设备及工艺开发

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摘要 随着国内外光电技术的快速发展,蓝宝石因其优异的物理和化学性能,在发光二极管(LED)显示、大尺寸窗口、智能移动终端、高能激光、光纤器件及半导体基板等领域逐渐占据了重要的应用市场。传统的蓝宝石晶体生长方法包括提拉法(CZ)、热交换法(HEM)、导模法(EFG)、埚下降法(BS)和泡生法(KY)等,其中泡生法制备的蓝宝石晶体在位错密度、晶界、气泡等关键指标方面有望满足光电类产品的严苛要求。
出处 《中国科技成果》 2025年第9期64-65,共2页 China Science and Technology Achievements
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