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区熔多晶硅高压启动系统设计

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摘要区熔级多晶硅在液晶显示器、新能源、半导体等产品生产过程中应用广泛,但国内基本依赖进口。鉴于此,结合区熔多晶硅生产的工艺特点,介绍了其电源系统,重点分析设计了一套适应生产区熔多晶硅的高压击穿系统。

作者刘建中

机构地区陕西有色光电科技有限公司

出处《机电信息》 2025年第8期48-50,共3页

关键词区熔多晶硅电源系统击穿系统

分类号 TM502 [电气工程—电器]

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2025年第8期

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