湿电子化学品的微粒子控制与量测被引量：1

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摘要随着国内半导体行业的快速发展,半导体行业上游的湿电子化学品项目如雨后春笋般快速兴起。由于半导体行业的技术越来越先进,对湿电子化学品的品质要求也越来越高。在湿电子化学品行业中,金属阳离子、微粒子、阴离子等是最关键的几个指标,其中就微粒子的控制与量测进行了探讨。

作者彭飞杨洁王雪梅

机构地区湖北兴福电子材料股份有限公司湖北兴力电子材料有限公司

出处《现代盐化工》 2025年第1期38-39,116,共3页 Modern Salt and Chemical Industry

关键词半导体湿电子化学品微粒子

分类号 TQ075 [化学工程]

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