摘要
为获得铬(Cr)金属薄膜的光学常数,文章采用武汉颐光科技公司生产的SE-VM-L型宽光谱全穆勒矩阵椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在石英玻璃上得到的单层Cr金属薄膜,得到了Cr金属薄膜在200~1 700 nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。根据Cr金属的薄膜特性及成膜特点,采用“基底/空气”模型进行拟合,建模时采用Cauchy模型和Gaussion模型,对建立的各种模型测量得到的数据进行了分析和比较。结果表明,对于厚度较薄的金属样品来说,椭偏仪无法同时解偶样品薄膜折射率N、消光系数K和样品薄膜厚度d;模拟较薄Cr纯金属薄膜时,需要导入样品的透过率T,通过拟合得到均方差为2.3,测量得到较合理的Cr金属薄膜的厚度为23.77 nm。该研究结果对Cr金属薄膜膜层设计和制备有参考价值。
出处
《光源与照明》
2022年第10期44-46,共3页
Lamps & Lighting
基金
广东省普通高校青年创新人才类项目(2021KQNCX229)
广东省普通高校特色创新类项目(2021KTSCX306)
广东大学生科技创新培育专项资金资助项目(pdjh2021b0954)。
