期刊导航
期刊开放获取
vip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
航天高精度惯性仪表清洗技术综述
在线阅读
下载PDF
职称材料
导出
摘要
针对航天高精密仪表生产过程中的多余物清除难题,结合典型零部件清洗工艺,综述了航天精密仪表清洗工艺现状,并对高精度、高性能精密仪表的清洗技术的发展进行了展望。
作者
严小军
李彦博
唐照芳
李宁
陈洸
机构地区
北京航天控制仪器研究所
出处
《清洗世界》
CAS
2021年第1期115-116,118,共3页
Cleaning World
关键词
高精度仪表
多余物
清洗技术
检测技术
分类号
V19 [航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
81
参考文献
8
共引文献
41
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
参考文献
8
1
王磊,惠瑜,高超群,景玉鹏.
超临界二氧化碳(SCCO_2)无损伤清洗[J]
.微纳电子技术,2010,47(2):65-70.
被引量:13
2
张传杰,银建中,胡大鹏,李惠荣.
MEMS、半导体和精密机械的超临界清洗技术[J]
.清洗世界,2007,23(5):34-41.
被引量:5
3
孙高翔.
水基金属清洗剂的清洗机理[J]
.洗净技术,2004(1):27-28.
被引量:10
4
张小华,黄楚棋,陈金华,李彩亭.
航空航天再制造领域清洗剂应用及VOCs排放与控制现状[J]
.清洗世界,2019,35(8):66-68.
被引量:2
5
刘钦,张福礼,王红伟.
惯性仪表铍材复杂结构件清洗技术研究[J]
.新技术新工艺,2018(2):39-43.
被引量:4
6
陈白帆,林飒,赵蕾.
浮子组件密封空间微环境污染特征对马达性能的影响分析[J]
.导航与控制,2017,16(2):92-99.
被引量:1
7
王京锋,刘景林,卜石.
动压气体轴承陀螺电机启停可靠性分析研究[J]
.微特电机,2016,44(6):17-22.
被引量:6
8
孙祖琴.
等离子清洗在电子元器件中的应用[J]
.机电元件,2010,30(1):13-15.
被引量:8
二级参考文献
81
1
孙良欣.
中国清洗行业现状与发展趋势展望[J]
.洗净技术,2003(1):2-10.
被引量:23
2
樊毅,刘伯威.
用作气体动压轴承的微晶碳化硼材料[J]
.粉末冶金材料科学与工程,2003,8(4):271-277.
被引量:2
3
孙丽,张俊.
陀螺用H型动压气浮轴承电机启动特性[J]
.空间控制技术与应用,2012,38(5):53-56.
被引量:11
4
闫志瑞.
半导体硅片清洗工艺发展方向[J]
.电子工业专用设备,2004,33(9):23-26.
被引量:15
5
STAFF.ェスペツクなど、超臨界CO2半導体洗浄装置のデモ機を開発、300mmゥェ一ハを每時120枚処理可能[J/OL].[2009-10-15].http://www.sijapan.com/breaking/0607/18wc_espec060711.html.
6
LANCE F. SCORR: One for the environment [J]. Environmental Health Perspectives, 2001, 109 (8) : A382- A385.
7
MIS. Complete CO2 Solutions for the Microelectronics Industry [EB/OL]. [2009- 10- 15]. http://www, micellintegratedsystems. corn/.
8
STAFF. Supercritical CO2 finds niche with ultralow-k materials[J].Semiconductor International, 2003, 26 (9): 40.
9
ITRS. International technology roadmap for semiconductors: 2007 update [EB/OL]. [2009 - 08 - 26]. http://www, itrs. net/Links/2008ITRS/Update/2008_Update, pdf.
10
KERN W, PUOTINEN D A. RCA cleaning [J]. RCA Review, 1970, 31: 187.
共引文献
41
1
华奕恺.
超声波清洗技术在精密仪器中的应用[J]
.中国科技纵横,2018,0(22):80-82.
被引量:1
2
马鹏飞.
利用水基清洗,提高柱塞偶件的清洁度[J]
.山东内燃机,2004(5):22-23.
3
吴国忠,李会迪,郑晓兰,李天奎.
一种新型清洗剂在原油换热器清洗中的应用评价[J]
.石油化工设备,2010,39(3):76-78.
被引量:3
4
郭新贺,王磊,景玉鹏.
干冰微粒喷射清洗技术[J]
.微纳电子技术,2012,49(4):258-262.
被引量:19
5
田宝会.
驰名商标和发明专利与企业形象的树立[J]
.企业经济,2000,19(4):51-52.
6
高公如,韩斌,张学春,胡德栋,宁召宽,张鹤.
超声波辅助超临界CO_2清洗精密零部件设备设计[J]
.农业装备与车辆工程,2013,51(3):42-44.
被引量:6
7
钱海峰,雷卫宁,刘维桥,丁立红,王创业.
超临界CO_2清洗在精微制造领域中研究与应用[J]
.机械设计与制造工程,2013,42(12):57-61.
被引量:1
8
钟小刚.
铝线键合的等离子清洗工艺研究[J]
.电子与封装,2014,14(4):31-33.
9
于海,沙春鹏,靳军,卢野.
等离子清洗处理胶转移污染的工艺研究[J]
.电镀与精饰,2014,36(6):18-21.
10
谢帆,胡荣耀,刘燕芳,鲁浩,吕宏志.
水性清洗剂在空调用塑封电动机生产上的应用[J]
.材料保护,2019,52(1):133-136.
1
任远,王文涛,金硕,王守仁,王高琦,朱国栋,成巍,李延磊.
激光清洗对铝合金轮胎模具表面性能的影响[J]
.应用激光,2020,40(5):901-906.
被引量:18
2
雷梅根,夏继平,夏鑫强.
低温清洗剂RY-322在涤纶针织物上的应用[J]
.印染,2021,47(2):54-57.
被引量:1
清洗世界
2021年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部