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TiN涂层表面氧化层研究

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摘要 在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它由吸附的氧通过TiN略作畸变而形成。
出处 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1992年第7期31-36,共6页 Ordnance Material Science and Engineering
基金 国家教委博士学科基金 中科院北京中关村地区联合分析测试基金
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