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TiN涂层表面氧化层研究
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摘要
在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS方法研究了TiN涂层表面氧化物特征,并从热力学和晶体学上探讨了氧化物形成机理。结果表明,TiN表面氧化物为TiO_2,厚度约为60nm,它由吸附的氧通过TiN略作畸变而形成。
作者
王永康
夏立芳
机构地区
中国兵器工业第五二研究所宁波分所科研部
哈尔滨工业大学
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第7期31-36,共6页
Ordnance Material Science and Engineering
基金
国家教委博士学科基金
中科院北京中关村地区联合分析测试基金
关键词
TIN涂层
表面分析
高速钢
分类号
TG142.45 [金属学及工艺—金属材料]
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兵器材料科学与工程
1992年 第7期
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