期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

磁控溅射和电子束蒸发制备软X光多层膜镜

下载PDF

导出

作者李懋廉王哲

出处《薄膜科学与技术》 1992年第2期35-43,共9页

关键词多层膜磁控溅射制备

分类号 TH74 [机械工程—光学工程]

引文网络
相关文献

1邵建达,范正修,金磊,郭永洪.制备软X光多层膜的转速控厚法[J].中国激光,1991,18(3):171-175. 被引量：5
2崔明启,徐正良.同步辐射反射率计计算机控制及数据获取系统[J].核电子学与探测技术,1993(A11):53-56.
3蔡文浪,章岳光,刘旭,王颖.Al_2O_3与LaF_3薄膜在紫外波段的特性研究[J].浙江大学学报（工学版）,2009,43(3):555-558. 被引量：2

薄膜科学与技术

1992年第2期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部