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半导体金刚石与器件被引量：1

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摘要本文介绍了半导体金刚石材料的结构、光电特性及其器件的特点,总结了与器件制备相关工艺的发展和这种器件的研制历史与现状,同时还指出了金刚石器件走向实用化所需克服的困难。

作者宋登元

机构地区河北大学电子系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1992年第4期17-20,32,共5页 Semiconductor Technology

关键词半导体金刚石器件结构光电特性

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1992年第4期

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