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TDR—GY30SC高压单晶炉的研制 被引量:1

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出处 《LSI制造与测试》 1992年第6期43-46,共4页
  • 相关文献

同被引文献3

  • 1机械工业出版社.机械设计手册第2卷[M].北京:机械工业出版社,1992..
  • 2北京有色冶金设计研究总院.机械设计手册第2卷[M].北京:化学工业出版社,1993..
  • 3徐祥和.电子精密机械设计-2版[M].北京:国防工业出版社,1995..

引证文献1

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