摘要
文章提出了低压射频等离子体实验设计体系,应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针,测得Langmuir型V-I曲线,其中包括等离子体温度信息。
The paper discusses the design of the experiment of low press radio-frequency plasma, using TFS and Langmuir to get V-Icurve including temperature of plasma body.
出处
《哈尔滨学院学报》
2002年第8期24-26,共3页
Journal of Harbin University
基金
2002年黑龙江省教育厅科学技术研究指导项目(10513015)
哈尔滨学院科研基金资助项目
