摘要
采用Sb掩膜层代替Al反射层,在激光波长为632.8nm和数值孔径为0.40的光盘动态测试装置上实现了直径为380nm的超分辨记录点的读出.得到了Sb薄膜厚度对只读式超分辨光盘的读出信号强度的影响规律.同时发现Sb为28～30nm时超分辨记录点的读出信号强度最高达38～40dB.
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第12期902-904,共3页
Chinese Science Bulletin
基金
国家自然科学基金(批准号:59832060)
国家重点基础研究规划基金(批准号:19990330)
上海市应用物理研究中心基金资助项目
