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微电子技术发展方向及交叉学科 被引量：2

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摘要 本文综述了今后一段时期内国外微电子技术发展的方向及微电子技术相关的交叉学科。
作者 于宗光
机构地区 信息产业部电子第
出处 《集成电路应用》 2002年第3期6-9,共4页 Application of IC
关键词 微电子技术 发展方向 交叉学科
分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 相关文献

参考文献9

二级参考文献34

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共引文献17

同被引文献17

引证文献2

二级引证文献14

集成电路应用
2002年 第3期

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