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大型超高真空排气台的研制

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摘要大型超高真空排气台是我所1989年科研成果,是专门为外形尺寸较大的微波管排气而研制的工艺设备。文章着重介绍该排气台的设计思想和结构特点。

作者顾树华

机构地区机电部

出处《真空电子技术》北大核心 1991年第6期52-55,共4页 Vacuum Electronics

关键词电子管真空器件烘烤排气台

分类号 TN105.3 [电子电信—物理电子学]

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真空电子技术

1991年第6期

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