等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量
被引量：3
Determination of Boron and Phosphorus in B-P-Si Glass films by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry
出处
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期885-885,共1页
Chinese Journal of Analytical Chemistry
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