用超声喷雾热解新方法生长ZnO膜

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摘要采用超声喷雾热解法已在各种基片上长出了ZnO膜。通过X射线、光学及电气测量结果表明了所制备的ZnO膜的特征。发现它们为单一物相、均质且厚度均匀。这些膜的质量与用更复杂的方法制备的膜的质量相当。ZnO膜适合于许多半导体应用。

作者 P.Wu Y-M.Gao 陈运祥

机构地区美.布朗大学化学系

出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第2期87-90,共4页 Piezoelectrics & Acoustooptics

关键词 ZnO膜生长超声喷雾热解法

分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]

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压电与声光

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