国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用被引量：17

Foreign status of MEMS technology and application in military

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摘要概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。 Research main technologies, characteristics, market and forecast,research trend are summarized, foreign status and application in military of MEMS technology are introduced emphatically.

作者亢春梅曹金名刘光辉

机构地区信息产业部电子第四十九研究所

出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第6期4-7,共4页 Journal of Transducer Technology

关键词 MEMS技术现状军事领域应用微电子机械系统电子器件 MEMS technology status application

分类号 TH12 [机械工程—机械设计及理论]

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传感器技术

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