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精密陶瓷PVD CVD涂层技术的发展与应用

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摘要 精密陶瓷是硬度仅次于金刚石、立方氮化硼(CBN)的超硬材料,此外还具有很高的耐热、耐腐蚀性能。但是由于其脆性而使应用受到很大局限,因此研究以强度或韧性高的金属或塑料等作基体的陶瓷涂层技术很受重视。例如,工业发达国家生产的硬质合金机夹刀片中,约50%经过涂层处理,因此涂层技术成为加工工具中很重要的技术而得到发展。
作者 唐华生
出处 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 1991年第2期46-50,共5页 Rare Metals and Cemented Carbides
关键词 PVD CVD 涂层 陶瓷
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