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磷化物掺杂剂与钽的互相作用 被引量:2

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摘要 查明磷化物掺杂剂与钽基的互相作用,是了解掺杂剂影响钽阳极的比容、击穿电压和漏电流等性能的基础。为此,本文用高温俄歇谱仪和X射线衍射仪对掺杂试样进行了分析,发现在掺杂量≥0.5%时,其主要作用机理为:P_2O_5+2Ta=Ta_2O_5+2P,3Ta+P=Ta_3P。
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第6期424-428,共5页 Chinese Journal of Rare Metals
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