摘要
高精机床需要高精滑台.文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造,质量为100kg,用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm,具有甚高的刚性。该滑台使用磨擦传动致动器,直线轴向最大平移速度10mm/s。使用闭环伺服控制,使用模控制器门（IMC）,自动补偿未建模的机械性能。也可使用比例积分微分控制器（PIDC）对直线滑台进行控制。控制方法中测量时使用激光干涉仪和光学直线编码器,保证使滑台得到甚高的定位精度。
出处
《精密制造与自动化》
2002年第1期22-26,共5页
Precise Manufacturing & Automation
