摘要
本文提出了一种应用于生物医学的小型化压力传感器的设计原理。据此,提出了一种有良好工作稳定性及噪声性能的力学量敏感器件——结型场效应力敏传感器,该压力传感器采IC技术和硅各向异性腐蚀技术就可以制造出来。
In this paper principles of a miniature pressure transducer for bio-medical applications is devised .Based on thet a JFE-Pressure sensor with high stability and low noise is designed. It is readily fabricated by IC and aniso-tropical etching techniques for silicon.
出处
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
1989年第1期33-36,共4页
Journal of Natural Science of Heilongjiang University
