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氧化硅结合碳化硅棚板产生缺陷原因的探讨 被引量:1

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摘要 就氧化硅结合碳化硅棚板在使用过程中产生的缺陷现象及相关原因进行了分析讨论,并提出了更好使用棚板的一些个人见解。
作者 李纲举
出处 《陶瓷工程》 2001年第6期17-19,共3页 Ceramics Engineering
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