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大面积微细结构的电火花高效加工

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摘要采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。

作者伊福廷张院春等

机构地区中国科学院北京市机电研究院

出处《北京机电通讯》 2001年第28期29-31,共3页

关键词电火花加工微细加工大面积微细结构

分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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北京机电通讯

2001年第28期

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