摘要
介绍了扫描电子显微镜 (SEM)的基本工作原理 ,着重分析了在 SEM初始电子束作用下 ,各种成像信号产生的方式及其特点 ,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷 ,介绍了解决办法 ,从而使 SEM的成像性能得以大幅提高 。
This paper introduces the imaging signals used in Scanning Electron Microscope, analyses the production and its feature of each imaging signal stimulated by the original electron beam, and selects second elcctron signal as the main source signal for its high resolution and abundant imaging information. The paper also analyses the possibility for its performance improvement.
出处
《真空》
CAS
北大核心
2001年第6期42-44,共3页
Vacuum
