摘要
三维表面形貌受生成机理的影响 ,与表面功能密切相关 ,对表面的功能评定至关重要。论述了三维表面功能评定的各种方法 ,如最小二乘多项式拟合、滤波、Motif法和分形方法 ,并分析归纳了存在的问题和发展趋势。
Surface topography in 3-D is influenced by process mechanisms and is cor related with functional behavior. This paper reviews functio nal Evalution methods on the surface topography in 3-D, such as polynomial fitti ng, filtering, Motifs and fractal methods. The existing problems and developing trends are also discussed.
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2001年第6期19-26,共8页
Journal of Astronautic Metrology and Measurement
基金
国家杰出青年科学基金资助项目 (项目编号 :5 0 0 2 5 5 14 )
高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资金资助项目 (项目编号 :19992 8)
