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5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展 被引量:1

The Judged Software and Its Expansion in Measuring of Position Finding Precision with 5528A Double-frequency Laser Interferometer
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摘要 介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法 。 The measuring of geometry and the judged software for double frequency laser intererometer are intruduced, including software's expansion and extension of the judged standard.
出处 《江苏机械制造与自动化》 2001年第6期26-27,共2页 Jiangsu Machine Building & Automation
关键词 激光干涉仪 软件扩展 几何测量 定位精度 laser interferometer measuing software expansion
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