常用计量技术中光波干涉讲座(二)振幅分光的干涉光路及其在计量测试中应用(中)

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摘要本讲叙述用于米尺测量的激光干涉测长仪简要原理 ,以及其中重要光学元件———三面直角棱镜。克服镜子摆角及横向位移光路。

作者李茂山

机构地区中国测试技术研究院

出处《实用测试技术》 2001年第5期33-38,共6页 Practical Measurement Technology

关键词激光干涉测长仪三面直角棱镜振幅分光光波干涉

1李茂山.常用计量技术中的光波干涉讲座(一)基础篇[J].实用测试技术,2001,27(3):38-42.
2张放.BJG—1型薄量块激光干涉测长仪[J].钟表,1993(6):19-24.
3第一期CAXA三维CAD认证讲师培训班在昆明顺利举行[J].机械工人（冷加工）,2004(3):32-32.
4陈幼松.光技术用于超精密测定的近况和展望[J].中国仪器仪表,1993(2X):20-22.
5戴锦锟.激光测长仪的基本原理[J].四川激光,1981,2(A02):73-73.
6朱鸿锡,何宗琴,叶声华,魏昭伦,天津市测量技术研究所,天津300100.新型高精度激光干涉小角度测量仪的研究[J].计量学报,1996,17(2):89-91. 被引量：4
7石强,高振东,杨金荣.平面平晶计量检定中存在问题的分析及改进建议[J].新疆石油科技,1999,9(4):76-77.
8张汝鹏,吕晓明,赵转萍.空间运动目标激光跟踪测量系统建模研究[J].实用测试技术,2000,26(6):1-4.
9辛永强,郭芮君.长度计量中干涉条纹的运用及影响干涉条纹清晰度的原因分析[J].甘肃科技纵横,2016,45(9):34-36.
10王奎,霍磊,徐守品.接触式干涉仪大量程数字化技术改造[J].精密制造与自动化,2015(4):29-31.

实用测试技术

2001年第5期

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