用热解化学气沉积法选择性生长金刚石薄膜的研究被引量：1

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摘要一、引言金刚石薄膜作为一种新型多功能材料,其制备和应用研究在近几年内取得了飞速的发展.目前,用各种化学气相沉积方法(CVD)合成的金刚石薄膜在一些领域内已取得了初步的应用.金刚石薄膜的选择性生长就是在衬底表面上按照所需图形生长金刚石薄膜。

作者于三金曾孙吕宪义邹广田

机构地区吉林大学原子与分子物理研究所

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第6期417-419,共3页 Chinese Science Bulletin

关键词金刚石薄膜化学气相沉积

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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1金曾孙，吉林大学自然科学学报，1987年，2卷，127页

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