真空感应气相沉积炉控制系统
Control System of Vacuum Induction CVD Furnace
摘要
介绍了真空感应化学气相沉积炉控制系统的组成和功能 ,计算机监控系统的硬件结构 。
出处
《工业加热》
CAS
2001年第3期58-60,共3页
Industrial Heating
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