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非接触测速测长光电传感器 被引量:5

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摘要 本文简要叙述了采用空间滤波梳状光电器件进行非接触测速测长的工作原理,介绍了传感器和信号处理电路设计特点及测量精度。
出处 《计量技术》 1991年第4期19-21,共3页 Measurement Technique
  • 相关文献

同被引文献22

  • 1(德)U.梯策ch.胜克 王祥贵等(译).高级电子电路[M].北京:人民邮电出版社,1984,9.304-3.
  • 2Tsang W T, Wang S. Preferentially etched diffraction gratings in silicon [J].J. Appl. Play., 1975, 46:2163 - 2166.
  • 3Luke D, Keller, Daniel T, et al. Fabrication and testing of chemically micromachined silicon echelle gratings[J]. APPLIED OPTICS, 2000, 39(7) : 1094 - 1105.
  • 4Pran M, Myung - Gyu K, Thomas H Z, et al. Fabrication of high aspect ratio Si - nanogratings with smooth sidewalls for a deep UV - blocking particle filter[J]. J. Vac. Sci. Technol. B, 2007,25 (6) : 2645 - 2648.
  • 5Kiang M H, Nee J T, Lau K. Y, et al. Surface micromachined diffraction gratings for scanning spectroscopic application [ A ]. Proceedings of the 1997 International Conference on Solid Stale Sensors and Actuators[C]. Chicago (USA) : IEEE, 1997, 1:343 - 345.
  • 6Jaffe D T, Keller L D, Ershov O. Micromachined silicon diffraction gratings for infrared spectroscopy[C]. Proc of SPIE, 1998, 3354:201 -212.
  • 7陆明达,开关电容滤波器的原理与设计,1986年,21页
  • 8王祥贵(译),高级电子电路,1984年,304页
  • 9陆明达,开关电容滤波器的原理与设计,1986年,2卷,23页
  • 10王祥贵,高级电子电路,1984年,9卷,304页

引证文献5

二级引证文献29

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