摘要
本文在对三极磁控溅射电特性的研究基础上,结合高速钢和硬质合金基体上氮化钛耐磨涂层的沉积,对三极磁控溅射新工艺进行了较系统的研究。不仅探讨了主要工艺参数对涂层组织结构、显微硬度、结合力的影响,而且在生产实际中进行了切削性能对比试验。结果表明,三极磁控溅射与一般二极磁控溅射比较,有起辉电压低、离化率高、工艺稳定、涂层质量优良等特点。三极磁控溅射氮化钛涂层丝锥比未涂复的丝锥切削寿命提高6～8倍。
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第6期12-18,共7页
Ordnance Material Science and Engineering
