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低温等离子体化学 被引量:3

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摘要 等离子体是部分电离了的气(汽)体,也可以说是正、负带电粒子密度相等的导电气体。它实际上是电子(有时存在负离子)、正离子、原子(或分子)、原子团(活性基)、激发的原子(分子)以及光子等粒子的混合体。
作者 李学丹
出处 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 1991年第5期17-19,共3页 Chemistry
  • 相关文献

参考文献1

  • 1王福贞,表面沉积技术,1989年

同被引文献8

引证文献3

二级引证文献33

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