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超纯水用过滤器被引量：1

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摘要随着半导体技术的发展,供半导体生产过程中洗涤等用的超纯水的要求规格也有所变化。现将集成电路(IC)的集成度与图形尺寸的关系示于表1。一般,尺寸为最小图形尺寸的1/10～1/3,或比之更大的粒子都应从超纯水中清除。

作者吕洪久

出处《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1991年第8期34-36,共3页 New Chemical Materials

关键词过滤器聚乙烯膜尼龙66膜

分类号 TQ051.85 [化学工程]

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化工新型材料

1991年第8期

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