TDR-70A型单晶炉真空系统与充气系统设计被引量：1

Design of vacuum system and charge system of crystal furnace

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摘要单晶炉是生长大规模集成电路所需要硅单晶的专用设备。本文主要介绍了单晶炉的真空系统与充气系统的设计。 The single crystal furnace is a special equipment of growth single crystal for LSI. This paper mainly introduces the design of vacuum system and charge system of crystal furnace.

作者李留臣杨润

机构地区西安理工大学晶体生长设计研究所

出处《真空》 CAS 北大核心 2001年第2期47-48,共2页 Vacuum

关键词真空系统单晶炉充气系统设计压力测量系统 vacuum system crystal furnace

分类号 TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]

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真空

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