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氮气压对自蔓延高温合成AlN后烧的影响 被引量:4

EFFECT OF NITROGEN PRESSURE ON AFTERBURNING OF SHS AIN
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摘要 研究了氮气压力对自蔓延高温合成 AlN的影响和后烧机理结果表明,自蔓延高温合成 AlN 的生长机制为气相-晶体(Vapor-Crystal; VC)机制.气相沉积的台阶平面为 AlN的基面({0001} 面).为了降低表面能,生长台阶必须以六棱柱形态形核.在后烧阶段,AlN颗粒中心的小台阶被重新“蒸 发”,并沉积到远离中心的大台阶上,使AlN颗粒棱角分明,形状规则.随着氮气压力的增加,燃烧温度 逐渐提高,后烧的时间缩短. Afterburning of SHS AIN under different nitrogen pressure and its mechanism were investigated. The results showed that growth mechanism was the vapor-crystal (VS) one.' AIN vapor,, deposited on the {0001} plane (hasal plane) steps of AIN particles. The little nucleated steps must be regular hexagon in order to decrease surface energy. During afterburning, the little steps at the center will re-vaporize and move to the larger steps, which made AIN particle become regular. With increasing of nitrogen pressure, combustion temperature increased, and the time of afterburning decreased.
出处 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B01期158-162,共5页 Chinese Journal of Materials Research
关键词 自蔓延燃烧合成 氮化铝 集成电路 氮气压力 生长机制 绝缘材料 Self-propagating high-temperature synthesis (SHS), AIN, afterburning
  • 相关文献

参考文献3

  • 1江国健,庄汉锐,李文兰,邬凤英,张宝林.铝粉在高压氮气中自蔓延燃烧合成氮化铝[J].无机材料学报,1998,13(4):568-574. 被引量:9
  • 2李健强,DavidT.Shen,WilliamC.Davis.提高细胞融合率和杂交瘤细胞过量生长的方法[J]西北农林科技大学学报(自然科学版),1988(02).
  • 3Z. A. Munir,J. B. Holt. The combustion synthesis of refractory nitrides[J] 1987,Journal of Materials Science(2):710~714

二级参考文献2

  • 1江国建,无机材料学报,1998年,13卷,1期,105页
  • 2江国建,硅酸盐学报

共引文献8

同被引文献12

引证文献4

二级引证文献29

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